Pemampat Udara Bebas Minyak untuk Makmal Semikonduktor

Untuk mewujudkan talian utiliti yang boleh dipercayai untuk kemudahan penyelidikan ketepatan, sumber daripada Pemampat Udara Bebas Minyak China untuk pembekal Semiconductor Labs. Penyelesaian udara ketulenan tinggi DECHUAN menggunakan pengedap pengasingan karbon berbilang lapisan untuk menghilangkan hidrokarbon surih, memastikan kualiti gas tulen untuk goresan silikon kritikal.

Keperluan Ketulenan Gas Bilik Bersih Kritikal

Dalam fabrikasi semikonduktor dan litografi filem nipis, walaupun setitik mikroskopik wap minyak yang dibawa melalui saluran udara boleh merosakkan keseluruhan kumpulan pengeluaran. Produk khusus ini direka bentuk untuk memenuhi piawaian ketulenan tertinggi mutlak:

• Penghantaran Udara Kelas 0 Diperakui TÜV: Sistem kami menjalani ujian yang ketat merentasi suhu operasi yang berubah-ubah. Analisis bebas mengesahkan sama sekali sifar kesan minyak dalam aliran udara keluaran.

• Laluan Udara Dalaman Bebas Kakisan: Setiap bahagian paip, berkas penyejuk dan matriks pemisah di hilir kebuk mampatan diperbuat daripada keluli tahan karat premium untuk mengelakkan kepingan karat daripada mencemari saluran udara bilik bersih.

• Integrasi Elektronikon® Lanjutan: Pengawal bersepadu menjejaki metrik operasi dengan teliti dan menampilkan penutupan keselamatan proaktif untuk memastikan tiada udara yang tidak tulen memasuki grid makmal.

Kos Pencemaran Mikro yang Tinggi dalam Elektronik

Dalam fabrikasi wafer semikonduktor, satu titisan aerosol minyak boleh mencemari keseluruhan persekitaran bilik bersih, merosakkan beribu-ribu wafer silikon dan menyebabkan berjuta-juta masa pengeluaran hilang. Pemampat udara tradisional tidak dapat menjamin ketulenan sifar hidrokarbon mutlak yang diperlukan untuk proses skala nanometer ini.

Pemampat Udara Bebas Minyak khusus untuk Makmal Semikonduktor menjamin keselamatan proses tulen:

• Aliran Udara KELAS 0 yang diperakui: Diuji dengan ketat oleh TÜV merentasi julat haba dan tekanan yang melampau untuk memastikan kehadiran minyak sifar mutlak.

• Dalaman Tanpa Zarah: Prapenyejuk keluli tahan karat dan penukar haba sirip bintang menghapuskan kepingan pengoksidaan atau penumpahan kimia dalam laluan udara.

• Perisai Pemantauan Elektronik: Penggera penyelenggaraan proaktif dan penutupan kerosakan automatik menghalang penyelewengan sistem sebelum ia mencapai alatan bilik bersih anda.

Parameter Ketulenan Teknikal

• Penarafan Kuasa Sistem: 55kw - 900kw konfigurasi berketumpatan tinggi.

• Kadar Penghantaran Isipadu: 4.2 - 148.5 m³/min keluaran aliran bersih.

• Klasifikasi Kandungan Minyak: ISO 8573-1 Kelas 0 pengesahan bebas minyak sepenuhnya.

• Susun Atur Penyejukan: Penyejukan cecair keluli tahan karat menghalang keluar gas kimia.

Syarat rujukan prestasi untuk unit diukur mengikut Lampiran C, edisi ke-4 (2009) ISO 1217:

· Kelembapan relatif: 0%

· Tekanan masuk mutlak: 1 bar

· Suhu masuk: 20°C Kadar nyahcas (FAD) diukur pada tekanan operasi berikut:

Jenis kelajuan malar:

·  -7.5 jenis bar: 7 bar

· -8.6 jenis bar: 7 bar

· -10 jenis bar: 9 bar

Jenis VSD:

· -8.6 jenis bar: 7 bar

· -10.4 jenis bar: 9 bar

· (2) Tahap tekanan bunyi pelepasan berwajaran Kelas A stesen kerja (LpWSAd). Diukur mengikut ISO 2151:2004 (menggunakan kaedah pengimbasan intensiti bunyi 150 9614/2). Faktor pembetulan yang baru ditambah ialah nilai yang tidak pasti sama sekali (KpAd), yang mematuhi kod ujian.

· (3) Berat adalah untuk rujukan sahaja; berat sebenar yang dibekalkan hendaklah diutamakan.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

Menurut ISO 1217 Annex C, Edisi Ke-4 (2009), syarat rujukan prestasi unit adalah seperti berikut:

· Kelembapan relatif: 0%

· Tekanan masuk mutlak: 1 bar

· Suhu masuk: 20°C

Anjakan FAD diukur pada tekanan operasi berikut:

Model kelajuan malar:

-Model 7.5 bar: 7 bar

-Model 8.6 bar: 7 bar

-10 model bar: 9 bar

Model VSD:

-Model 8.6 bar: 7 bar

-Model 10.4 bar: 9 bar

(2) Tahap tekanan bunyi pelepasan berwajaran Kelas A stesen kerja (LpWSAd). Diukur mengikut ISO 2151:2004 (kaedah pengimbasan intensiti bunyi ISO 9614/2). Faktor pembetulan yang baru ditambah KpAd tidak pasti, mematuhi kod ujian.

(3) V1=380V, V2=400V.

(4) Berat adalah untuk rujukan sahaja; berat sebenar akan diutamakan.

ZR/ZT 200-275 (FF)

-Kelembapan relatif:0%

-Tekanan masuk mutlak: 1bar

-Suhu masuk: 20° ℃

Kadar nyahcas (FAD) diukur pada tekanan operasi berikut

Jenis kelajuan malar:

-7.5 jenis bar: 7 bar

-8.6 jenis bar: 7 bar

-10 jenis bar: 9 bar

Jenis VSD:

-8.6 jenis bar: 7 bar

-10.4 jenis bar: 9 bar

(2) Tahap tekanan bunyi pelepasan berwajaran Kelas A stesen kerja (LpWSAd).

Diukur mengikut ISO 2151:2004(menggunakan 150 9614/2(kaedah pengimbasan intensiti bunyi).

Faktor pembetulan yang baru ditambah ialah nilai yang tidak pasti sama sekali (KpAd), yang mematuhi kod ujian.

(3) Berat adalah untuk rujukan sahaja; berat sebenar yang dibekalkan hendaklah diutamakan.

ZR 300-750

Syarat rujukan prestasi untuk unit diukur mengikut Lampiran C, edisi ke-4 (2009) ISO 1217:

· Kelembapan relatif: 0%

· Tekanan masuk mutlak: 1 bar

· Suhu masuk: 20°C Kadar nyahcas (FAD) diukur pada tekanan operasi berikut:

Jenis kelajuan malar:

·  -7.5 jenis bar: 7 bar

· -8.6 jenis bar: 7 bar

· -10 jenis bar: 9 bar

Jenis VSD:

· -8.6 jenis bar: 7 bar

· -10.4 jenis bar: 9 bar

· (2) Tahap tekanan bunyi pelepasan berwajaran Kelas A stesen kerja (LpWSAd). Diukur mengikut ISO 2151:2004 (menggunakan kaedah pengimbasan intensiti bunyi 150 9614/2). Faktor pembetulan yang baru ditambah ialah nilai yang tidak pasti sama sekali (KpAd), yang mematuhi kod ujian.

· (3) Berat adalah untuk rujukan sahaja; berat sebenar yang dibekalkan hendaklah diutamakan.

ZR 200X-400X

Syarat rujukan prestasi untuk unit diukur mengikut Lampiran C, edisi ke-4 (2009) ISO 1217:

· Kelembapan relatif: 0%

· Tekanan masuk mutlak: 1 bar

· Suhu masuk: 20°C Kadar nyahcas (FAD) diukur pada tekanan operasi berikut:

Jenis kelajuan malar:

·  -7.5 jenis bar: 7 bar

· -8.6 jenis bar: 7 bar

· -10 jenis bar: 9 bar

Jenis VSD:

· -8.6 jenis bar: 7 bar

· -10.4 jenis bar: 9 bar

· (2) Tahap tekanan bunyi pelepasan berwajaran Kelas A stesen kerja (LpWSAd). Diukur mengikut ISO 2151:2004 (menggunakan kaedah pengimbasan intensiti bunyi 150 9614/2). Faktor pembetulan yang baru ditambah ialah nilai yang tidak pasti sama sekali (KpAd), yang mematuhi kod ujian.

· (3) Berat adalah untuk rujukan sahaja; berat sebenar yang dibekalkan hendaklah diutamakan.

Kajian Kes Pengguna Makmal Cleanroom

Sebuah pengeluar elektronik di Asia memasang sistem udara khusus DECHUAN untuk membekalkan gelung penjanaan nitrogen ketulenan tinggi dan lengan ujian pneumatik. Sebelum ini, pemampat standard membenarkan wap minyak surih berhijrah melepasi penapis sebaris, salutan kanta litografi dan menyebabkan keretakan mikro dalam salutan wafer. Selepas memasang Pemampat Udara Bebas Minyak untuk Makmal Semikonduktor, makmal tersebut melaporkan sifar insiden pencemaran talian berkaitan minyak, menjimatkan kos pembersihan dan penentukuran semula bilik bersih yang besar selama dua tahun operasi berterusan.

Menjahit & Kawalan Komponen Tersuai

• Peningkatan Bahan Keluli Tahan Karat: Kami menggantikan semua komponen tuangan dalaman standard dengan keluli tahan karat gred tinggi untuk memenuhi garis panduan pencemaran mikro yang ketat.

• Protokol Komunikasi Lanjutan: Unit ini telah dimuatkan dengan protokol komunikasi khusus, membolehkan pusat kawalan bilik bersih memantau metrik udara dari jauh.

• Jejak Struktur Kompak: Reka letak dalaman dioptimumkan untuk meminimumkan jejak, menjadikannya mudah dipasang dalam ruang utiliti bawah tanah makmal yang ketat.

Soalan Lazim Pembeli Industri

S: Bolehkah kita menyambungkan pemampat ini terus ke gelung penapisan ultra-tinggi ketulenan (UHP)?

J: Ya, keluaran udara kami serasi sepenuhnya dengan pengering desiccant bilik bersih termaju dan sistem penapisan zarah sub-mikron. Kerana udara mentah mengandungi sifar wap minyak, penapis khusus tempat penggunaan anda tidak akan tersumbat dengan kabus minyak, memanjangkan hayat penapis.

S: Bagaimanakah pengedap jenis Z memastikan sifar penghijrahan minyak daripada pemasangan gear?

A: Pemampat Udara Bebas Minyak untuk Makmal Semikonduktor menampilkan ruang bolong atmosfera fizikal antara perumahan gear yang dilincirkan minyak dan ruang mampatan kering. Pengedap cincin karbon bukan sentuhan khusus dipasangkan dengan saluran tekanan negatif, memastikan sebarang kabus minyak gear disekat sepenuhnya daripada memasuki aliran udara bersih.

S: Apakah yang berlaku jika penderia suhu dalaman mengesan bacaan tidak normal?

J: Pengawal Elektronikon® menyampel data penting beberapa kali sesaat. Jika lonjakan suhu dikesan pada mana-mana peringkat, sistem serta-merta mencetuskan penutupan automatik dan menutup injap pengasingan, memastikan udara yang tidak disejukkan tidak pernah mengalir ke hilir ke dalam peralatan sensitif makmal anda.